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Alicat质量流量控制器

ALICAT质量流量控制器21系列

产品分类:Alicat质量流量控制器

产品介绍

 

 

应用及案例

 

● 大学/研究所           ● 环境监测

● 真空行业及镀膜     ● 工业炉窑

● 半 导   体               ● 汽车制造

● 光       伏               ● 燃料电池

● 计量校准               ● 过程工艺气体测量

 

 

产品特色

 

 

●  数字化产品

●  多参数显示和输出:温度、压力、流量等

●  多参数控制,如体积流量、质量流量和压力

●  标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板

●  可选高精度:优于0.5%

●  可测范围广,0.01~100%

●  响应时间快,优于100 ms

●  内置98种气体

●  可现场编辑混合气体(最多5种成分),并最多存储20种混合气


 

 

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