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应用及案例
● 低温容器检测
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 汽车制造
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数可控：质量流量、体积流量和压力
● 可选高精度：可优于0.5%
● 可测范围广，0.01~100%
● 满量程超低压损最低为360Pa
● 阀门响应时间快，优于100ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
精度升级
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差
± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差
± 0.1 % 读数 / Atm压力差
性能指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
测量和控制范围 0.01～100%
最大显示流量 128 %满量程
最大可控流量 102.4 % 满量程
显 示 屏 带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）见上段精度升级部分
±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ±（0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度漂移 0.03%满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃
质量流量压力漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar
响应时间 优于100 ms
预热时间 ＜ 1 s
标定工况 25 ℃ & 1Atm（可现场在测量范围内随意更改）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温至100℃）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
最大工作压力 0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.5 %读数（读数＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 7 - 30 VDC （如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC ）
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）；额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、 铝
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
选项配件
待更新。
安装手册
待更新。
机构认证
待更新。
尺寸详图
尺寸压损
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满量程质量流量控制器
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满量程压损1（psid）
排气到大气中
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外观尺寸
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连接接口2
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0.5 sccm - 2 sccm
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0.06
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3.9''H x 3.4''W x 1.1''D
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M-5 （10-32）内螺纹
（含M-5 （10-32）
外螺纹Buna-N O型密封圈
至1/8'' NPT内螺纹）
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5 sccm - 10 sccm
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0.08
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20 sccm
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0.07
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50 sccm - 200 sccm
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0.07
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4.1''H x 3.6''W x 1.1''D
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1/8'' NPT 内螺纹
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500 sccm
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0.08
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1 slpm
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0.10
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2 slpm
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0.18
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5 slpm
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0.10
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5.5''H x 7.7''W x 2.3''D
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1/4''NPT内螺纹
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10 slpm
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0.12
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20 slpm
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0.26
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40 slpm
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0.14
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5.5''H x 7.7''W x 2.3''D
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1/2'' NPT 内螺纹
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50 slpm
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0.17
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5.5''H x 7.3''W x 2.3''D
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3/4'' NPT 内螺纹
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100 slpm
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0.30
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250 slpm
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0.69
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500 slpm
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0.69
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5.5''H x 8.1''W x 2.7''D
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3/4'' NPT 内螺纹
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1000 slpm
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1.65
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6.3''H x 9.8''W x 4.5''D
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2'' NPT 内螺纹
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1、公制当量见图纸。
2、与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。
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产品大图
气体编码
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