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Alicat质量流量控制器

ALICAT 低压损流量控制器 21W系列

产品分类:Alicat质量流量控制器

产品介绍

 

应用及案例

 

●  低温容器检测

●  大学/研究所

●  泄漏检测

●  环境监测

●  汽车制造

●  过程工艺气体测量

 

产品特色

 

●  数字化产品

●  多参数显示和输出:温度、压力、流量等

●  多参数可控:质量流量、体积流量和压力

●  可选高精度:可优于0.5%

●  可测范围广,0.01~100%

●  满量程超低压损最低为360Pa

●  阀门响应时间快,优于100ms

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气


 

精度升级

 

量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM,

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度      ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)

质量流量高精度         ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)

重复性                       ±(0.1%   读数 + 0.02% 满量程)

质量流量零点漂移      ± 0.03% 满量程 / ℃温差

                                  ± 0.01% 满量程 / Atm压力差

质量流量量程漂移      ± 0.01% 读数 / ℃温差

                                  ± 0.1 % 读数 / Atm压力差


 

性能指标

 

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体,请参考气体兼容表

                  一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

测量和控制范围    0.01~100% 

最大显示流量    128 %满量程

最大可控流量    102.4 % 满量程

显  示  屏    带按键背光开关,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ±(0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程)见上段精度升级部分

                  ±(0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程)(可选)

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%额外误差

重  复  性    ±(0.2 %读数+0.02 %满量程)

质量流量温度漂移    0.03%满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃

质量流量压力漂移    ±(0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程)当压力从标定压力起,每变化1bar

响应时间    优于100 ms

预热时间    < 1 s

标定工况    25 ℃ & 1Atm(可现场在测量范围内随意更改)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温至100℃)

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ~ 95 %,无冷凝

最大工作压力    0.3 MPa表压,进出口最大允许瞬时压差70 Kpa

最低操作压力    如果不做真空特殊标定,建议在绝压80 KPaA以上使用;其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ± 0.5 %读数(读数>1 Atm),或±0.1 PSIA(<1Atm)

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@19200波特率;

                         模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU(RS232 / RS485)

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    7 - 30 VDC (如选4 - 20 mA输出,须为15 - 30 VDC )

供电电流    250 mA,1 A,2 A(详情咨询);额外加 40 mA( 4 - 20 mA)

电气接口    DB9,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率(外漏)    选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、 铝

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)

 *如选Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及供电电流需来电垂询


 

选项配件

待更新。


 

安装手册

待更新。


 

机构认证

待更新。


 

尺寸详图

尺寸图低段.png


 

尺寸压损

 

满量程质量流量控制器

满量程压损1(psid)

排气到大气中

外观尺寸

连接接口2

0.5 sccm - 2 sccm

0.06

3.9''H x   3.4''W x 1.1''D

M-5 (10-32)内螺纹

(含M-5 (10-32)

外螺纹Buna-N O型密封圈

至1/8''  NPT内螺纹)

5 sccm - 10 sccm

0.08

20 sccm

0.07

50 sccm - 200 sccm

0.07

4.1''H x   3.6''W x 1.1''D

1/8'' NPT 内螺纹

500 sccm

0.08

1 slpm

0.10

2 slpm

0.18

5 slpm

0.10

5.5''H x   7.7''W x 2.3''D

1/4''NPT内螺纹

10 slpm

0.12

20 slpm

0.26

40 slpm

0.14

5.5''H x   7.7''W x 2.3''D

1/2'' NPT 内螺纹

50 slpm

0.17

5.5''H x   7.3''W x 2.3''D

3/4'' NPT 内螺纹

100 slpm

0.30

250 slpm

0.69

500 slpm

0.69

5.5''H x   8.1''W x 2.7''D

3/4'' NPT 内螺纹

1000 slpm

1.65

6.3''H x   9.8''W x 4.5''D

2'' NPT 内螺纹

1、公制当量见图纸。

2、与Beswick®,Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接头和卡套转接头相兼容,也可以按照用户需求与VCR,SAE接头相兼容。


 

产品大图

质量流量控制器-低压损-MCW-21W.png


 

气体编码选型表截图长图.png

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