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流量范围：300-1000 SLPM 最小流量范围：1000SLM
韩国莱因泰可( LINE TECH )原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，广泛应用于所有工业，气体混合及分析 ，半导体工业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统。产品设计坚固、耐用，且经济。
优 势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高压（90公斤）
l 量程范围广：300SLPM ~ 1000SLPM 之间可选\
l 两种输入输出信号：0~5Vdc or 4~20mA 可选
l 两种供电方式：+15Vdc or +24Vdc 可选
l 电气连接： 15 针（D型插头）
l 快速响应时间两种：＜ 1 秒 or ＜2秒 可选
l 高重复性（±0.25%F.S)
l 接头方式多样选择：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″
VCR ： 1/4″
规 格：
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型号
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M2500VA
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流量范围（N2)
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300~1000 SLPM
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响应时间
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＜1 秒
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精确度
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±1%
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重复精度
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±0.25%
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输入输出信号
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0~5Vdc
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供电
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+15Vdc or +24Vdc,350mA
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最大工作压力
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15 Bar
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最大工作温度
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0~50℃
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漏率
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1×10-9 atm.cc/sec
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控制范围
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2~100%
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