优点：
 
■测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa
 
■全金属冷阴极陶瓷传感器
 
■新型几何电极提供了极好的点火性能
 
■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
 
■阳极环和钛阴极可清洗，更换容易
 
■最小磁场强度测量
 
■ LED指示灯电源和等离子点火
 
■对数模拟输出信号
 
■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信