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Brooks质量流量计

4860质量流量计

产品分类:BROOKS质量流量控制器 / Brooks质量流量计

产品介绍

4860_模拟橡胶密封质量流量计(51C41L)

模拟橡胶密封;

流量范围:50 sccm-40 slpm;

精度:±3.0% of FS;±1.0% of FS;

压力:0-150 psig;

阀门:

阀门常闭:<0.3V;

阀门常开:>4.8V

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