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产品分类:MKS质量流量控制器
MKS1479A_模拟金属密封质量流量控制器
模拟金属密封;
流量范围:10-20000 sccm;
最大进气压力:150 psig;
精度:模拟:±1% of F.S.;
数字:±1% of Reading;20-100% of F.S.;±0.2% F.S.,<20% of F.S.;
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