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MKS质量流量控制器

Delta质量流量计

产品分类:MKS质量流量控制器

产品介绍

Delta质量流量计

DELTA® II流量比例控制器随着 DELTA 流量比例控制器的使用, 优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。

使用DELTA™流量比例控制器(FRC)能更容易获得最佳的工艺性能。FRC广泛用于不同的流量分离设备,如刻蚀、去胶和PECVD工艺设备中,FRC使用户能够将气体或混合气体分送至同一反应室中的两个不同区域。根据气体(或任何混合气体)及其设定比率,FRC会自动将气体分送到两个不同的出口。

在任何新的和已有的工艺设备中使用FRC都很简单。拥有大量程范围的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供选择,FRC均可以满足您的要求。凭借拥有版权的计算器,我们应用工程师们将为您的应用选择正确的部件。MKS会传送给您有关机械和电学细节的电子文档,帮助您开始进行部件的整合。由于FRC在工作中保持一个低于大气压的管道压力,因而通常不需要特殊的防漏措施。

 

 

 

  • 品  牌:MKS
  • 计量单位:台
  • 商品性质:实物销售
  • 产        地:美国
  • 交货周期:6-8周
  • 包装形式:纸箱包装
  • 保 修 期:保修12个月
  • 市场价格:请来电 0510-88701706咨询或在线留言
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