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FC-R7810系列不仅能提供高精度流量控制。
采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性，可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE独特电气信号可选方案，可方便对用户使用的质量流量控制器（MFC）进行替换，操作简单。
特点：
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答***的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉
◆方便的互换性
技术参数：
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性能指标
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FC-R7800CD/FC-R7800D系列
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FC-R7810CD/FC-R7810D系列
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FC-R7820CD/FC-R7820D系列
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满量程范围
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10Sccm-5Slm
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N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
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35-200Slm
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响应时间
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满流量的±2%范围内,小于2秒
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满流量的±2%范围内,小于3秒
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精度
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≤±1%满量程
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≤±2%满量程
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线性镀
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≤满量程±0 5%
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≤满量程±0 5% ＃1
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≤满量程±1%
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重复性
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≤满量程±0.2%
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泄漏率
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1X10E-11 Pa.m ?/sec
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控制范围
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满流量的2%-5% #2
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压差
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49Kpa-275Kpa
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69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
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147Kpa-275Kpa
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正常工作压
力
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490Kpa
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进气压力
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980Kpa
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温度范围
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5-45℃(41-113℉)
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输入电源
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+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
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+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 200mA
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功率
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3.1W max
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3.5W max
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输入信号
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0-5 VDC
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输出型号
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0-5 VDC
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控制阀形式
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常开或常闭电磁阀
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密封件
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金属密封
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材质
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316L，316，PTFE，不锈钢（氟橡胶，氯丁橡胶）
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标准接口
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1/4"VCR和Swagelok兼容
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3/8"VCR,1/4"VCR
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重量
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1.0KG
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2.7KG
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＃1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
＃2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-***
＃3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa
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